第一章 電阻率試驗機設備概述
1.1 系統構成 本設備由以下核心組件組成: (1)主機單元:配備雙屏蔽變壓器、高穩定度直流源及精密檢流計,采用四端法測量結構消除導線電阻影響。外置氮化鋁散熱器確保長時間工作溫升≤3℃/h。 (2)電極系統:三電極結構包含主電極(直徑50±0.02mm)、環形保護電極(內徑54+0.1/-0mm)及接地電極,表面鍍金層厚度2.5μm,接觸壓力可調范圍20-100N。 (3)環境控制模塊:內置溫濕度傳感器(精度±0.5℃、±2%RH)與電磁屏蔽箱體(衰減比60dB@100MHz)。
第二章 電阻率試驗機技術規范
2.1 性能參數 (1)測試量程: 體積電阻率:1×10^3~1×10^18Ω·cm(分七檔) 表面電阻率:1×10^2~1×10^16Ω(分五檔) (2)測試電壓: 直流電壓10V~1000V(步進1V) 極化時間1s~999s(可調) (3)數據采集: 分辨率:0.5%讀數+3字 穩定度:±0.3%/8h (4)環境要求: 工作溫度15~30℃ 相對濕度≤70%RH 氣壓860~1060hPa
第三章 電阻率試驗機操作前準備
3.1 環境核查
(1)開機前檢測實驗室:
檢查電磁環境:確保3m范圍內無強電磁設備(如變頻器、大功率無線電裝置)
核查地面振動:放置位置需滿足振動加速度≤0.1g(10Hz~100Hz)
確認接地電阻:專用地線接地電阻≤4Ω
3.2 樣品預處理
(1)固體材料:
表面處理:依次使用丙酮、異丙醇超聲清洗各10分鐘
干燥條件:60℃真空干燥箱處理4小時
尺寸修整:切割成Φ100mm±0.5mm標準樣片
(2)液體介質:
過濾:經0.22μm聚四氟乙烯膜真空過濾
除氣:50℃超聲脫氣處理30分鐘
注樣:使用特制石英測量杯,注入量控制25±0.5ml
3.3 設備聯檢
(1)通電預熱:
主機及配套裝置連續預熱≥30分鐘
校準時需在恒溫環境(25±0.5℃)進行
(2)電極處理:
接觸面清潔:用專用金相拋光布處理至粗糙度Ra≤0.1μm
接觸壓力校準:采用測力計調整至規定值±5%
(3)系統自檢:
執行零點校準(短路校正)誤差應≤±0.5%
標準電阻器驗證:1MΩ標準電阻測試誤差≤±1.2%
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